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前道量测设备

前道量检测主要用于晶圆加工环节,目的是检查每一步制造工艺后晶圆产品的加工参数是否达到设计的要求或者存在影响良率的缺陷,属于物理性的检测。


椭偏仪 (7家企业)

是一种用于探测薄膜厚度、光学常数以及材料微结构的光学测量仪器。

原子力显微镜 (6家企业)

一种可用来研究包括绝缘体在内的固体材料表面结构的分析仪器。

扫描电子显微镜(SEM) (7家企业)

扫描电子显微镜是一种大型分析仪器, 它广泛应用于观察各种固态物质的表面超微结构的形态和组成。

AOI (7家企业)

AOI(Automated Optical Inspection缩写)的中文全称是自动光学检测,是基于光学原理来对焊接生产中遇到的常见缺陷进行检测的设备。

X射线检测设备 (7家企业)

X射线检测是利用X射线技术观察、研究和检验材料微观结构、化学组成、表面或内部结构缺陷的实验技术。