上海微电子装备(集团)股份有限公司
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500系列光刻机
产品型号: | SSB500/40 |
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SSB500/40的产品参数
分辨率 | 2.00 μm | |
曝光光源 | 汞灯 | |
基片尺寸 | 200mm/300mm |