上海微电子装备(集团)股份有限公司
地址:
上海市张江高科技园区张东路1525号
联系企业
600系列光刻机
产品型号: | SSA600/20 |
对比
收藏
SSA600/20的产品参数
分辨率 | 0.09 μm | |
曝光光源 | 准分子激光器 | |
基片尺寸 | 200mm/300mm |