首页
产品展示
迈可诺技术有限公司
光刻机Mask Aligner
| 产品型号： | MEMA-800 |
对比
收藏
MEMA-800的产品参数
| 分辨率 | 15000.00 μm | |
| 曝光光源 | 汞灯 | |
| XY平台移动范围 | -5.00～5.00 mm | |
| 光强均匀性 | -5.00～5.00 % | |
| 真空源 | 0～21.30 kPa | |
