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ASML
EUV光刻系统
| 产品型号： | TWINSCAN NXE:3400C |
对比
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TWINSCAN NXE:3400C的产品参数
| 分辨率 | 0.013 μm | |
| 曝光光源波长 | 极紫外区域 | |
| 对准精度 | 1.40 nm | |
| 观察照明器 | sigma为 0.06–1的照明器 | |
| 基片尺寸 | 26×33mm | |
| 生产效率 | 170.00 | |
