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ASML
EUV光刻系统
| 产品型号： | TWINSCAN NXE:3400B |
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TWINSCAN NXE:3400B的产品参数
| 分辨率 | 0.02 μm | |
| 观察照明器 | sigma从0.2–0.9增加到0.06–1.0 | |
| 基片尺寸 | 26×33mm | |
| 生产效率 | 125.00 | |
